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          一、技術參數:

                 1、處理氣量:≥1--4Nm3/h

                  2、原料氣純度:≥99.99

                  3、純化后符合并高于GB/T4842-200699.9999%要求 

                  各項指標如下           

                       H20.1ppm  

                       O20.1.ppm  

                       N20.1.ppm  

                       含碳量≤1.ppm 

                       露點  1.ppm

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